8日，中國首臺代表國際尖端水平的薄膜太陽能電池關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備——等離子體增強型化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD)在上海成功下線，這被視為中國在新能源高端裝備領(lǐng)域取得的“零的突破”。“中國造”的PECVD性能領(lǐng)先于國外同類產(chǎn)品，價格大幅低于后者，國內(nèi)薄膜太陽能電池產(chǎn)業(yè)化進程有望提速。
PECVD首次“國產(chǎn)化”：薄膜太陽能電池產(chǎn)業(yè)化有望加速
創(chuàng)造這一突破的是注冊在浦東張江高科技園區(qū)的理想能源設(shè)備公司。據(jù)該公司總經(jīng)理錢學(xué)煜介紹，一片“1.1米×1.4米”的普通平板玻璃完成導(dǎo)電層覆膜后，進入PECVD反應(yīng)腔，完成化學(xué)氣象材料疊層結(jié)構(gòu)的覆膜，厚度增加了兩個微米，即成為轉(zhuǎn)化率可達10%的薄膜太陽能電池。
2009年8月，留美博士錢學(xué)煜與20多名曾在國際一流企業(yè)有過豐富經(jīng)驗的設(shè)備、工藝和管理專家成立理想能源公司。一年多里，該公司相繼完成了PECVD首臺機的研發(fā)、中試、下線，并申請了10多項核心技術(shù)專利。
據(jù)介紹，該設(shè)備采用了創(chuàng)新的超高頻射頻技術(shù)，精密的真空和溫度控制技術(shù)，快速的自動傳輸技術(shù)以及多腔多片的反應(yīng)腔系統(tǒng)等，大大提高了產(chǎn)能，其產(chǎn)品性能優(yōu)于國際一流設(shè)備，但價格遠低于同等的進口設(shè)備。
錢學(xué)煜說：“從國外進口一臺這樣的設(shè)備要兩三億元人民幣，我們自己生產(chǎn)的大概只需一億元左右。一臺設(shè)備年產(chǎn)能約有15兆瓦，三臺設(shè)備便可組成一條年產(chǎn)能近50兆瓦的生產(chǎn)線。”
工業(yè)和信息化部裝備工業(yè)司副司長李東表示，高端薄膜太陽能電池關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備的研制成功，為中國新能源產(chǎn)業(yè)下一步的發(fā)展奠定了堅實基礎(chǔ)。
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